24-stacji Spin Coater Barrier Coating. Redukcja krawędzi wierszy i antykontaminacja dla linii półprzewodników
24-stacji Spin Coater Barrier Coating. Redukcja krawędzi wierszy i antykontaminacja dla linii półprzewodników
24-stanowiskowa powłoka barierowa z powlekarką wirową | Redukcja zgrubień krawędziowych i zapobieganie zanieczyszczeniom linii półprzewodnikowych Ten24-stanowiskowa powlekarka wirowa, powłoka barierowama postać awarstwa ofiarna lub trwała izolacjana podłożach przed powłoką główną (fotomasy, ...
Place of Origin:Chiny
Brand Name:OSMANUV
Certification:ISO9001
Model Number:Specyfikacja
Minimum Order Quantity:1 zestaw
Price:Zbywalny
Product Custom Attributes
Podkreślić
24-stanowiskowa powłoka półprzewodnikowa powlekarka wirowa
,redukcja perełek na krawędziach powlekarki wirowej
,maszyna do powlekania zapobiegającego zanieczyszczeniom poprzez formowanie masy celulozowej
Marka falownika:
Schneidera
Uszczelka:
Standardowa drewniana skrzynka
Sposób karmienia:
Dół, bok opcjonalnie
Stacja robocza:
24
Maksymalna szerokość produktu:
500mm
Wersja:
2.0
Wymiar:
Jako wymaganie klienta
Marka częstotliwości:
Shilin lub Schneider
Product Description
24-stanowiskowa powłoka barierowa z powlekarką wirową | Redukcja zgrubień krawędziowych i zapobieganie zanieczyszczeniom linii półprzewodnikowych
Ten24-stanowiskowa powlekarka wirowa, powłoka barierowama postać awarstwa ofiarna lub trwała izolacjana podłożach przed powłoką główną (fotomasy, poliimidy lub dielektryki). Zapobiega zanieczyszczeniu krzyżowemu, zmniejsza tworzenie się zgrubień na krawędziach i chroni uchwyty obrotowe przed atakiem rozpuszczalników.Konfigurowalna zawartość substancji stałych, układ rozpuszczalników i metoda usuwaniadostępne dla różnych rozmiarów płytek (2″-12″) i warstw urządzeń.
Parametry techniczne
| Parametr | Wartość / zakres |
|---|---|
| Solidna treść | 2% - 25% (konfigurowalny) |
| Lepkość (cP @25°C) | 3 - 150 (regulowane) |
| Gęstość (g/cm3) | 0,85 - 1,10 |
| Zakres prędkości wirowania | 500 - 6000 obr./min (24 zsynchronizowane stacje) |
| Grubość folii (po wirowaniu) | 0,1–5,0 μm (przestrajalne) |
| Temperatura suszenia | 80 - 200°C (płyta grzewcza lub piekarnik) |
| Czas suszenia | 30 - 180 sek |
| Zawartość jonów metali (Na, K, Fe) | < 10 ppb każdy (klasa wysokiej czystości) |
| Liczba cząstek (≥0,2 μm) | < 30 /ml |
| Metoda strippingu | Pasek rozpuszczalnikowy (NMP, PGMEA) lub rozkład termiczny |
Aplikacje
- Obróbka płytek półprzewodnikowych(frontend i backend)
- Produkcja MEMS i czujników
- Złożona powłoka spinowa półprzewodników (GaN, SiC).
- Fosfor LED i warstwa ochronna
- Powlekarki obrotowe R&D z możliwością pracy w 24 pozycjach
- Podłoża niestandardowe(szkło, szafir, metal, folie polimerowe)
Personalizacja
Oferujemy pełną personalizację 24-stanowiskowych powlekarek wirowych:
- Układ rozpuszczalnikowy(PGMEA, cykloheksanon, anizol, na bazie wody)
- Metoda strippingu(mokry pasek, popiół lub trwały)
- Efekt redukcji zgrubień krawędziowych(konfigurowalny cofający się kąt zwilżania)
- Kompatybilność rozmiarów wafli(2", 4", 6", 8", 12")
- Objętość partiiod 500 mL (Badania i Rozwój) do 20L (produkcja)
- Niskometalowa i niskocząsteczkowagatunki dostępne według specyfikacji klienta
Cechy
- ✅ Zapobiega zanieczyszczeniu uchwytu obrotowego i pokrywy
- ✅ Zmniejsza wysokość zgrubienia krawędzi o 60-80%
- ✅ Kompatybilny z automatycznymi systemami dozowania i EBR
- ✅ Brak pozostałości powłoki po prawidłowym usunięciu
- ✅ Odporny na temperaturę do 200°C (bez odgazowania)
- ✅ Niska gęstość defektów (<0,05 defektów/cm²)
- ✅Można używać jakowarstwa ofiarnado procesów podnoszenia
Wsparcie i usługi
- Optymalizacja procesówdla 24-stanowiskowej powlekarki obrotowej (prędkość/przyspieszenie/ramping)
- Bezpłatny test pozostałościna typ wafla
- Wsparcie przy instalacji na miejscu lub zdalnie
- Opracowanie niestandardowej formuływ ciągu 15 dni roboczych
- Karta charakterystyki materiału (SDS)+ przewodnik po przetwarzaniu
- Całodobowe wsparcie technicznedla linii produkcyjnych
Pakowanie i wysyłka
- Standardowe opakowanie: Butelki HDPE 1L, 4L, 20L (podwójne worki)
- Niestandardowe opakowanie: Beczka 200 l, IBC 1000 l lub uszczelnione wkłady strzykawkowe do automatycznego dozowania
- Wysyłka: Pakowane w pomieszczeniach czystych, palne klasy 3 (jeśli na bazie rozpuszczalników) lub nieszkodliwe (na bazie wody)
- Czas realizacji: 5 dni na zapas, 12-18 dni na partie niestandardowe
- Składowanie: 6-12 miesięcy w temperaturze 15-25°C w oryginalnie zamkniętym pojemniku
Często zadawane pytania
P1: Czy tę powłokę barierową można stosować we wszystkich 24-stanowiskowych powlekarkach wirowych?
O: Tak. Płyn jestkonfigurowalnydla różnych typów dysz (statyczna, liniowa lub natryskowa) i konstrukcji uchwytów obrotowych (próżniowych lub mechanicznych). Podaj model powlekarki do optymalizacji.
P2: Czy jest trwały czy zdejmowalny?
O: Obydwa. Wersja standardowa jestrozbieralny(rozpuszczalnik lub popiół). Dostępna wersja trwała do aplikacji warstwy ochronnej.
P3: Czy wpłynie to na przyczepność fotorezystu?
O: Nie. Powłoka barierowa jest zaprojektowana tak, aby można ją było całkowicie usunąć lub aby miała odpowiednią energię powierzchniową. Istnieje możliwość wykonania testów przyczepności.