Przemysłowy system przetwarzania laserowego Excimer. Elastyczna integracja linii produkcyjnej i w pełni dostosowalne parametry.
Szczegóły Produktu:
| Miejsce pochodzenia: | Chiny |
| Nazwa handlowa: | OSMANUV |
| Orzecznictwo: | ISO9001 |
| Numer modelu: | Specyfikacja |
Zapłata:
| Minimalne zamówienie: | 1 zestaw |
|---|---|
| Cena: | Zbywalny |
| Szczegóły pakowania: | Opakowanie drewna |
| Czas dostawy: | 30-45 dni |
| Zasady płatności: | T/T |
| Możliwość Supply: | Negocjacja |
|
Szczegóły informacji |
|||
| Woltaż: | 220 V/380 V | Prędkość przenośnika: | 25 ~ 80 m/min |
|---|---|---|---|
| Główna moc silnika: | 1,5 kW | Efektywna szerokość poziomowania: | 920 mm |
| Materiał powłokowy: | Różne materiały | Typ lampy UV: | Lampa rtęci |
| Błąd składania podczas przewijania: | ± 0,1 mm | Typ suszenia: | Suszenie IR |
opis produktu
Ten przemysłowy system przetwarzania laserowego ekscimerów został zaprojektowany do wysokiej precyzji mikrofabrykacji, wygrzewania półprzewodników i wzorowania cienkich folii.Wspiera pełną integrację z automatycznymi liniami produkcyjnymi z monitorowaniem w czasie rzeczywistymSystem wyposażony jest w zamknięte gazem źródło ekscimerów z długą żywotnością optyczną i sterowaniem procesem wspomaganym przez sztuczną inteligencję.
- Jednostka źródła lasera ekscimer
- Moduł kształtowania wiązki i homogenizacji
- Szybkości XY skanujący etap lub maskowa jednostka projekcji
- Robot obsługujący podłoże w linii (wykonalna szerokość toru)
- System zarządzania spalinami i gazami
- PC sterowania procesem z menedżerem receptur
| Parametry | Zakres wartości (standardowy) | Opcja dostosowania |
|---|---|---|
| Długość fali | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Zmiennik wielofalowy (na zamówienie) |
| Maksymalna energia impulsu | 0.5 - 1200 mJ | Do 2000 mJ (zawyk) |
| Częstotliwość pulsu | 1 - 6000 Hz | Do 10 kHz (na zamówienie) |
| Średnia moc | 5 - 300 W | Dostępne skalowanie |
| Wielkość wiązki (wyjście) | 10 × 10 mm | Bramy prostokątne do 50×50 mm (na zamówienie) |
| Homogenność wiązki | < ± 3% (σ) | < ± 1% (optyka na zamówienie) |
| Integracja linii produkcyjnej | SMEMA/SECS/GEM | Protokół PLC na zamówienie (na zamówienie) |
- Wykorzystanie silnika do wyświetlaczy zaawansowanych (LTPS)
- MEMS i cięcie płyt półprzewodnikowych
- Aktywacja powierzchni polimeru
- Mikrostrukturyzacja wyrobów medycznych
- Wiertarka elastyczna PCB
Oferujemypełna personalizacjaW celu określenia długości fali, energii impulsu, wielkości pola skanowania, mieszaniny gazowej, metody chłodzenia (powietrze/woda/chiller) oraz protokołu komunikacji linii produkcyjnej.Na żądanie dostępne są również zamontowane ramiona i obudowy klasy 1..
- > 2000 godzin żywotności gazu (optymalizowana mieszanina gazowa)
- Wbudowana stabilizacja energii (odpowiedzi w czasie rzeczywistym)
- Diagnostyka zdalna i konserwacja predykcyjna
- Niskie koszty użytkowania (LOO) w trybie obejścia oszczędności gazu
- Kompaktna konstrukcja modułowa do szybkiej konfiguracji linii
- 24/7 wsparcie techniczne (telefonicznie/na odległość)
- Instalacja na miejscu i integracja linii produkcyjnej
- Szkolenia na zamówienie dla inżynierów
- Rozszerzona gwarancja do 5 lat
- Program odnowy gazu i optyki
- Zamknięte w pojemniku o kontrolowanej wilgotności, o odporności na wstrząsy
- Pudełko optyczne pod próżnią
- Przesyłki lotnicze lub morskie z monitorowaniem w czasie rzeczywistym
- Skrzynki eksportowe spełniają standard ISPM-15







