Przemysłowy system przetwarzania laserowego Excimer. Elastyczna integracja linii produkcyjnej i w pełni dostosowalne parametry.
Przemysłowy system przetwarzania laserowego excimer
,Linia produkcyjna elastycznego lasera excimer
,Zastosowalne parametry maszyny do powlekania UV
Ten przemysłowy system przetwarzania laserowego ekscimerów został zaprojektowany do wysokiej precyzji mikrofabrykacji, wygrzewania półprzewodników i wzorowania cienkich folii.Wspiera pełną integrację z automatycznymi liniami produkcyjnymi z monitorowaniem w czasie rzeczywistymSystem wyposażony jest w zamknięte gazem źródło ekscimerów z długą żywotnością optyczną i sterowaniem procesem wspomaganym przez sztuczną inteligencję.
- Jednostka źródła lasera ekscimer
- Moduł kształtowania wiązki i homogenizacji
- Szybkości XY skanujący etap lub maskowa jednostka projekcji
- Robot obsługujący podłoże w linii (wykonalna szerokość toru)
- System zarządzania spalinami i gazami
- PC sterowania procesem z menedżerem receptur
| Parametry | Zakres wartości (standardowy) | Opcja dostosowania |
|---|---|---|
| Długość fali | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Zmiennik wielofalowy (na zamówienie) |
| Maksymalna energia impulsu | 0.5 - 1200 mJ | Do 2000 mJ (zawyk) |
| Częstotliwość pulsu | 1 - 6000 Hz | Do 10 kHz (na zamówienie) |
| Średnia moc | 5 - 300 W | Dostępne skalowanie |
| Wielkość wiązki (wyjście) | 10 × 10 mm | Bramy prostokątne do 50×50 mm (na zamówienie) |
| Homogenność wiązki | < ± 3% (σ) | < ± 1% (optyka na zamówienie) |
| Integracja linii produkcyjnej | SMEMA/SECS/GEM | Protokół PLC na zamówienie (na zamówienie) |
- Wykorzystanie silnika do wyświetlaczy zaawansowanych (LTPS)
- MEMS i cięcie płyt półprzewodnikowych
- Aktywacja powierzchni polimeru
- Mikrostrukturyzacja wyrobów medycznych
- Wiertarka elastyczna PCB
Oferujemypełna personalizacjaW celu określenia długości fali, energii impulsu, wielkości pola skanowania, mieszaniny gazowej, metody chłodzenia (powietrze/woda/chiller) oraz protokołu komunikacji linii produkcyjnej.Na żądanie dostępne są również zamontowane ramiona i obudowy klasy 1..
- > 2000 godzin żywotności gazu (optymalizowana mieszanina gazowa)
- Wbudowana stabilizacja energii (odpowiedzi w czasie rzeczywistym)
- Diagnostyka zdalna i konserwacja predykcyjna
- Niskie koszty użytkowania (LOO) w trybie obejścia oszczędności gazu
- Kompaktna konstrukcja modułowa do szybkiej konfiguracji linii
- 24/7 wsparcie techniczne (telefonicznie/na odległość)
- Instalacja na miejscu i integracja linii produkcyjnej
- Szkolenia na zamówienie dla inżynierów
- Rozszerzona gwarancja do 5 lat
- Program odnowy gazu i optyki
- Zamknięte w pojemniku o kontrolowanej wilgotności, o odporności na wstrząsy
- Pudełko optyczne pod próżnią
- Przesyłki lotnicze lub morskie z monitorowaniem w czasie rzeczywistym
- Skrzynki eksportowe spełniają standard ISPM-15