|
|
Szczegóły Produktu:
|
| Woltaż: | 220 V/380 V | Prędkość przenośnika: | 25 ~ 80 m/min |
|---|---|---|---|
| Główna moc silnika: | 1,5 kW | Efektywna szerokość poziomowania: | 920 mm |
| Materiał powłokowy: | Różne materiały | Typ lampy UV: | Lampa rtęci |
| Błąd składania podczas przewijania: | ± 0,1 mm | Typ suszenia: | Suszenie IR |
| Podkreślić: | Przemysłowy system przetwarzania laserowego excimer,Linia produkcyjna elastycznego lasera excimer,Zastosowalne parametry maszyny do powlekania UV |
||
Ten przemysłowy system przetwarzania laserowego ekscimerów został zaprojektowany do wysokiej precyzji mikrofabrykacji, wygrzewania półprzewodników i wzorowania cienkich folii.Wspiera pełną integrację z automatycznymi liniami produkcyjnymi z monitorowaniem w czasie rzeczywistymSystem wyposażony jest w zamknięte gazem źródło ekscimerów z długą żywotnością optyczną i sterowaniem procesem wspomaganym przez sztuczną inteligencję.
| Parametry | Zakres wartości (standardowy) | Opcja dostosowania |
|---|---|---|
| Długość fali | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Zmiennik wielofalowy (na zamówienie) |
| Maksymalna energia impulsu | 0.5 - 1200 mJ | Do 2000 mJ (zawyk) |
| Częstotliwość pulsu | 1 - 6000 Hz | Do 10 kHz (na zamówienie) |
| Średnia moc | 5 - 300 W | Dostępne skalowanie |
| Wielkość wiązki (wyjście) | 10 × 10 mm | Bramy prostokątne do 50×50 mm (na zamówienie) |
| Homogenność wiązki | < ± 3% (σ) | < ± 1% (optyka na zamówienie) |
| Integracja linii produkcyjnej | SMEMA/SECS/GEM | Protokół PLC na zamówienie (na zamówienie) |
Oferujemypełna personalizacjaW celu określenia długości fali, energii impulsu, wielkości pola skanowania, mieszaniny gazowej, metody chłodzenia (powietrze/woda/chiller) oraz protokołu komunikacji linii produkcyjnej.Na żądanie dostępne są również zamontowane ramiona i obudowy klasy 1..
Osoba kontaktowa: Mr. Zhang guoxin
Tel: +86 13926890692
Faks: 86-769-88120350
Polish
